Машината за изтъняване на пластини със силициев карбид се използва главно за изтъняване на субстратни материали като силициева пластина, галиев арсенид, керамика от силициев карбид, циркониева керамика, графит, литиев танталат и т.н.
Високопрецизните машини за вертикално шлайфане на пластини могат да шлайфат трето поколение полупроводникови материали като SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO. Серията DL-GSD е самостоятелно изработена шлифовъчна машина в Китай и нейната производителност е достигнала световния стандарт.